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选择真空泵站的一些技巧(上)
Edit: 浙江非耀设备Date: 2016-08-20

选择真空泵站的一些技巧(上)
      真空泵站在选择时,有些方面需要特别注意:
      1、真空泵站的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求110-5mmHg的真空度,选用的真空泵站的真空度至少要510-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
      2、正确地选择真空泵站的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为510-4~510-6mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在 10-2mmHg下工作,但其工作压强应小于110-5mmHg为好。
     3、真空泵站在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
      4、正确地组合真空泵站。由于真空泵站有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵站不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵站出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。