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干式真空泵的特色及使用
Edit: 浙江非耀设备Date: 2019-08-16

干式真空泵的特点及使用


      干式真空泵使事变容积中无油,因而带往了不少长处。首先,它加强了泵的可靠性。干式泵不像油密封泵那样遭到水蒸气大概者尘粒的影响,因而它们更耐用,所需的珍爱事变更少。裁减用油质借意味着裁减了认真处置油而破钞的本钱。利用干式真空泵假使梗概的污染减到较小水仄,那类污染既梗概涌现在油里——影响了泵的性能,也梗概涌现在某些非常的环境下 


  目前,真空行业利用的大多数干式真空泵都是用油、水大概其它聚合物等流体充任泵的事变介质,在泵内起冷却、密封、光滑等多种感导。随着科学技术的成长战真空利用规模的扩展,原有的干式真空泵及其形成的抽气系统涌现了两个急需处理成果:一是泵的事变介质返流污染被抽容器,而那类返流在许多环境下影响产品的质质、数质,增加配置设备陈设的珍爱本钱。其次,由于某些工艺过程中的反响物质使真空泵内的介质严厉蜕变,使泵不能一样平常事变。


  关于浅显的无油真空系统往道,固然可用油封式真空泵加上冷阱大概吸附阱之类附件往防备返流,但不能完整处理成果,而且使系统显得巨大。而利用妥当型式的干式真空泵,则能够到达实际的利用成果。


  干式真空泵的利用是广泛的,重要有以下几个方面:


  1)下压化学气相堆积中的多晶硅制备工艺中;


  2)半导体刻蚀工艺。在那些消费工艺中常常用到大概生成腐蚀性气体战研磨微粒;


  3)除半导体工艺中的某些孕育产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒倾轧泵中,则用注定型式的干式呆板真空泵能够餍脚恳求;


  4)用做浅显无油干净真空系统的前级泵,以防备油污染;


  5)在化学财产、医药财产、食 品财产中的蒸馏、枯燥、脱泡、包装等,要防备有机溶剂形成污染,契合用干式真空泵。