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真空泵的发展和应用。
Edit: 浙江非耀设备Date: 2019-05-16

干式螺杆真空泵

干式螺杆真空泵是利用一对螺杆在泵壳内同步高速反向旋转的一种抽排设备。两个螺杆经精动平衡校正后由轴承支撑,安装在泵壳内。螺杆和螺杆之间有一定的间隙。因此,在泵的工作过程中,泵与泵之间没有摩擦,运行平稳,噪音低,工作腔无需润滑油。因此,干螺杆泵可以在抽除大量蒸汽和少量粉尘气体的场合,极限真空度更高,功耗更低,节能,免维护的优点。它是一种新型的油封/水环/喷射真空泵产品。

螺杆泵应用:


1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;


2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;


3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;


4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、消泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵。


5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。


我国螺杆泵发展现状:

真空泵是一种大范围、大产量、低产值的产品,但它确实是一种不可缺少的基础产品,直接影响着真空设备的性能和质量。目前,国外医药精细化工行业的真空泵中,干螺杆真空泵约占60%,国内仅占10%-20%。随着环境保护形势的严峻,这一比例正在上升。通过对全球真空泵市场的分析,可以看出各种真空泵的市场和应用领域在不断变化和发展。中国的真空泵制造业有着悠久的历史和雄厚的基础。国内真空泵已广泛应用于各个领域,部分经国外用户验证合格。应该说,我国真空泵制造业在国内外市场仍有巨大的发展空间。

液环泵:

 液环泵虽属于粗真空泵,但在我国石油、化工、电力、纺织、造纸、医药等领域仍有较大的市场。在国外,液环泵的销售占真空泵总市场的14%,仅次于干式泵。由于大多数液环泵都不是劳动密集型产品,国内液环泵在价格上具有竞争优势。

干泵:

国外干泵市场的增长主要是由半导体工业、化学工业、制药工业和薄膜工业的快速发展带动的。在日本,半导体工业用干式真空泵代替油密封机械泵。在欧美,超过45%的半导体工业用干式真空泵代替了油密封机械泵,大大提高了产品的性能和质量。据统计,国产干式螺杆真空泵的应用比例约为10%-20%。随着我国环境保护形势的日益严峻,这一比例将在新项目中继续扩大。从沃尔姆干式螺杆真空泵的年销售量来看,它一直在增长。