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旋片式真空泵原理概述

旋片油封式真空泵(简称旋片泵)是一种油封式机械真空泵系统,其工作原理是用真空泵油来保持运动部件的密封、靠泵腔容积变化而实现抽气的一类机械真空泵。其工作压强范围为101325-1.33×10-2(Pa)属于低真空泵。它可以单独使用,也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。

简单来说旋片油封式真空泵(简称旋片泵)是一种油封式机械真空泵,其工作原理是用真空泵油来保持运动部件的密封、靠泵腔容积变化而实现抽气的一类机械真空泵。其工作压强范围为101325-1.33×10-2(Pa)属于低真空泵。它可以单独使用,也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。旋片式真空泵是真空技术中最基本的真空获得设备之一,旋片泵多为中小型泵。旋片式真空泵有单级和双级两种(如图1和图2所示),所谓双级,就是在结构上将两个单级泵串联起来以获得较高的真空度。