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真空泵系统的概述和主泵的选择

    一种由两个或多个真空泵和其它附件组成的系统,完成真空系统所需达到的两个目的,称为真空泵系统。真空泵系统设计的关键问题是抽真空泵主泵的选择。

主泵类型:

(1)根据真空室所需的极限压力确定主泵的类型。主泵的极限压力小于真空室极限压力的一个数量级或半个数量级。

(2)根据真空室在生产过程中所需的工作压力,选择主泵。主泵工作点应正确选择,真空室过程中产生的气体应在工作压力范围内消除。因此,真空室中的工作压力必须在主泵的最佳泵速压力范围内。

(3)主泵是根据真空室的容积和所需的抽气时间来选择的。真空室的容积对系统抽真空的时间有影响。当需要抽真空时间时,真空室容积越大,主泵的抽速越大。

(4)正确地组合真空泵,由于真空泵有选择性地抽气,因而有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。

(5)真空泵的正确组合,由于真空泵有选择地抽气,因此有时选择泵不能满足抽气要求,需要数台泵相结合,相互补充以满足泵的要求。

(6)选择真空泵时,应该知道被抽气体成分,针对被抽气体成分选择相应的泵。如果气体中含有腐蚀性气体、颗粒灰尘等,则应该考虑选择干式真空泵、耐腐蚀真空泵等。或在泵的进气口管道上安装辅助设备。

(7)根据真空系统的初期投资和日常维护费用等经济指标,选择主泵。